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新規事業

環境対策関連

排水・排ガス向け『水質・大気測定装置』や上水コスト削減を提案する『膜ろ過システム』など環境対策関連を中心としたアイテムを取り揃えております。

水質・大気測定装置

各種規制(水質汚濁防止法/大気汚染防止法)、各工程管理に対応した水質モニタ及びガスモニタをラインナップ。

水質・大気測定装置

地下水膜ろ過システム

次世代型水道システムとして採用が進んでいる高度な膜ろ過処理により、地下水を安全・安心な飲料水に変える分散型水道システム。
「事業継続性(BCP)」「社会貢献(CSR)」「水道料金の削減」「環境保全」などの効果を提供。

地下水膜ろ過システム

ピュアオゾンジェネレータ

純度の極めて高い(≒100%)オゾンガスを連続発生。
多種多様なデバイスの洗浄・改質・成膜用途。
安全性:国家安全規格SEMI-S2、UL、NFPA、CEなどに準拠

ピュアオゾンジェネレータ

ALD/OER成膜装置

常温でOHラジカルを発生させる手法(OER*)で常温成膜を実現
シャワーヘッド型で「均一性」、「高速成膜」、「原料ガス・電力の省エネ」を実現
単層膜でハイバリアを実現(膜厚40nmで水蒸気透過率10-5達成)
*明電名のプロセス・イノベーション(株)独自技術:Ozone-Ethylene Radical generation technologyの略

ALD/OER成膜装置

主要仕入先

    • (株)アナテック・ヤナコ
    • 三菱ケミカルアクア・ソリューションズ(株)
    • 明電ナノプロセス・イノベーション(株)

問い合わせ先

電子材料部 TEL:06-6373-3194 FAX:06-6373-3190
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